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型号

IM-7020

类型

测量头
搭载透过照明、可变照明单元及光照探针单元的机型

拍摄元件

1 型 660 万像素 黑白 CMOS

显示器

10.4 型 LCD 显示器(XGA：1024×768)

受光镜头

双远心镜头

图像测量

视野

广视野测量模式：200×200 mm(4角 R50)
高精度测量模式：125×125 mm

小显示单位

0.1 µm

重复精度

座标台未移动

广视野测量模式：±1 µm
高精度测量模式：±0.5 µm

座标台移动

广视野测量模式：±2 µm
高精度测量模式：±1.5 µm

测量精度 ±2σ

无连接

广视野测量模式：±5 µm^*1
高精度测量模式：±2 µm^*2

有连接

广视野测量模式：±(7+0.02 L) µm^*3
高精度测量模式：±(4+0.02 L) µm^*4

动态光探头测量

可测量范围(XY)

90×90 mm

大测量深度

30 mm

动态光探头直径

ø3 mm

测量力

0.015 N

重复精度

±2 µm^*5

测量精度

±(8+0.02 L) µm^*6

外部遥控输入

无源触点输入(有接点/无接点)

外部输出

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos 输出
额定负载 24 VDC 0.5 A
ON 电阻 50 mΩ以下

接口

LAN

RJ-45(10 base-T/100 base-TX/1000 base-T)

USB2.0 系列A

6 组(正面：2 组/背面：4 组)

存储

硬盘驱动器

500 GB

照明系统

透过

远心透过照明

落射

4 分割多角度照明(电动)
环状(指向性)照明(电动)

XY 座标台

移动范围

100×100 mm(电动)

承受负重

5 kg

Z 座标台

移动范围

75 mm(电动)

电源

电源电压

100 至 240 VAC　50/60 Hz

消耗电流

430 VA 以下

环境抗耐性

污染等级

2

过电压类别

II

环境温度

+10 至 +35 °C

相对湿度

20 至 80 % RH (无凝结)

重量

约 31 kg