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阀门类型	总体漏率	正向漏率	反向漏率
电磁真空带充气阀	△	△
电磁高真空档板阀	△	△
电磁高真空充气阀		△
高真空微调阀	△	△
高真空隔膜阀	△	△
高真空蝶阀			△
高真空档板阀	△	△
高真空插板阀			△
真空调节阀	△
真空球阀	△	△
超高真空档板阀	△	△
超高真空插板阀			△
注：△——表示进行测试