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安川SEMISTAR-VD95D双腕玻璃基板搬运机器人
来源:网络  作者:网络转载2019-09-22 16:57  浏览:928

适用于真空环境内最大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人!

特点:大动作范围:最大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人。手臂采用连杆机构实现高钢性。采用真空内传送带驱动实现低放出气体性能。手臂可内置基板传感器用配线。

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