整个工艺流程如图所示，三个吸附罐共用一个管路系统，运行时相互切换。当A吸附罐吸附时，B吸附罐解吸,C吸附罐再生。当有机废气进入吸附罐，其中的有机物穿过颗粒活性炭后被吸附下来，净化后的气体由吸附罐顶部排出。A、B、C三个吸附罐交替切换。系统采用水蒸汽为脱附剂，脱附蒸汽由吸附罐顶部进入，穿过颗粒活性炭，将被吸附浓缩的有机物脱附出来并带入冷凝罐，经过冷凝，有机物和水蒸汽的混合物被冷凝下来流入分层槽，通过重力沉降分离，达到回收有机物的目的。分离后的水排放至厂方化学污水系统集中处理后排放。系统运行过程中所有的动作切换，均由自动控制系统完成。